碳氮纳米管薄膜及其场致电子发射特性

摘要：

利用微波等离子体增强化学气相沉积技术,在玻璃衬底上600 ℃～650 ℃的低温下制备出了碳氮纳米管薄膜,氮含量为12 %,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)和Raman光谱等测试手段对所制备薄膜的表面形貌、微结构和成分进行了分析,并研究了其场致电子发射特性,阈值电场为3.7 V/μm.当电场为8 V/μm时,电流密度为413.3 μA/cm2.实验表明该薄膜具有优异的场发射性能,而且用这种方法制备的薄膜将大大简化平板显示器件的制作工艺.

关键词：微波等离子体增强化学气相沉积、碳氮纳米管、场致电子发射

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划715-002-0042;国家自然科学基金60278035;河南省自然科学基金004042000

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：779-782