亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性

摘要：

用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小二乘法拟合出临界周期点随折射率的变化规律;利用一维单台阶和多台阶光栅在TE、TM偏振状态以及二维单台阶圆柱状光栅和二维金字塔结构多台阶光栅进行验证,发现它们同样满足临界周期点的变化规律.结果证明,对于任意面形的亚波长周期结构介质光栅的一级衍射效率都有这一规律.

关键词：耦合波理论(RCWA)、临界周期点、拟合、亚波长、折射率、光栅

所属期刊栏目：14

分类号：O436.1(光学)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目2002LQ.04

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：694-697