10.3321/j.issn:1005-0086.2002.11.013
移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制
在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干涉相衬显微测量系统 ;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出了物体的微观三维形貌 ,实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量.结果表明 :粗糙度重复测量精度为1.2 nm;形貌高度分辨率为4.6 nm.
相移干涉术、微分干涉相衬、表面微观形貌
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TN247;TH742(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金59975052
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1141-1144