聚合物阵列波导光栅复用器的研究

摘要：

介绍了聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器的基本原理,进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导.结果表明:AWG器件的制做工艺,Al掩模技术明显优于厚胶掩模技术.用这种技术制备的器件,其结构指标与理论设计相符合而且波导在1.55 μm处实现了单模传输.

关键词：阵列波导光栅(AWG)、复用器、光波导、Al掩模、单模

所属期刊栏目：13

分类号：TN256;TN205(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000036604;国家高技术研究发展计划863计划2001AA312160

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1097-1100