AWG用Si基SiO2波导材料的制备

摘要：

平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用,尤其是Si基SiO2波导器件在光通信领域中具有许多优点.因此,如何在Si衬底上制备出性能稳定良好的SiO2光波导材料至关重要.本文介绍了几种制备SiO2厚膜的方法.

关键词：波分复用(WDM)、SiO2光波导、热氧化法、溶胶-凝胶法、阳极氧化法、化学汽相法(CVD)、火焰水解法(FHD)

所属期刊栏目：13

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000036602

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：868-871