10.3321/j.issn:1005-0086.2002.06.014
自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素
从微小内尺度测量角度出发,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响.结果表明,为提高系统的轴向分辨率,需将有效针孔尺寸控制在≤2.5;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜,同时,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比 .
共焦三维形貌检测术、轴向分辨率、自聚焦透镜、非接触测量
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金50075020
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
593-596