自聚焦共焦式微型探测系统的研究

摘要：

为解决微小内轮廓为代表的微小尺寸的非接触测量问题,本文提出了将自聚焦透镜体积小与共焦显微技术的纵向层析特性有机结合的自聚焦共焦微型显微技术的光聚焦探测系统.介绍了系统的工作原理和结构系统中的关键技术进行了优化设计,通过对自聚焦透镜、针孔、光源及探测器系统的设计,可以有效地实现高精度微型光聚焦探测.初步实验结果表明,系统的轴向分辨率可达10nm.

关键词：共焦显微镜、光聚焦探测、自聚焦透镜、高分辨率、非接触测量

所属期刊栏目：13

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50075020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：374-377