波长为1.03 nm的掠入射多层膜反射镜的设计

摘要：

在软x射线短波段1.03 nm处的掠入射多层膜反射镜的设计中,本文提出了一种理论设计的修改方法.该方法考虑了基底、膜层界面间的均方根粗糙度对反射率的影响;对界面的数学描述源于D.G.Sterns的散射理论.设计结果表明:要在1.03 nm处制做较高反射率(10 %)的掠入射多层膜反射镜,基底粗糙度小于0.56 nm即可.使用超精加工的粗糙度为0.5 nm的基片作为基底,沉积了多层膜反射镜后,其反射率结果是10 %,与修改方法设计结果一致.

关键词：粗糙度、反射率、多层镜

所属期刊栏目：13

分类号：O484.4+1(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：352-355