硅基硫化锌薄膜的溅射法生长技术

摘要：

利用射频磁控溅射法在Si衬底上制备ZnS薄膜,用X射线衍射技术对薄膜的结构相变进行研究,揭示了Si衬底上ZnS薄膜的微观结构和相变特征与溅射功率的关系,为寻找高新发光材料提供依据.

关键词：射频磁控溅射、微观结构、ZnS薄膜、相变特征

所属期刊栏目：12

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：福建省自然科学基金99-H-47

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：896-898