不同阳极结构二维PSD的电流-位置输出特性

摘要：

本文介绍了四边形电极结构,四边形电极改进结构和带电阻边框的方框形电极结构3种二维位敏器件(PSD)的结构和工作原理,导出了3种结构PSD的输出电流理论表达式和位置线性度网络图.结果表明:四边形电极结构PSD的位置偏差最大,中央60%光敏区域内最大位置误差约10.0%,与实验结果相符 ;四边形电极改进结构PSD在中央60%光敏区域内最大位置误差约5.0%;带电阻边框的方框形电极结构,当边框电阻很小时,位置信号与输出电流之间满足线性关系,实验测得中央79 %光敏区域内的均方根位置误差小于0.3%.

关键词：位置敏感探测器(PSD)、位置误差、非线性

所属期刊栏目：12

分类号：TN15;TN247(真空电子技术)

资助基金：教育部重点项目;福建省教育厅科研项目JB0008

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：795-798