采用透射率极值法监控的薄膜淀积电脑仿真

摘要：

分析了透射率极值监 控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系，推导了在不同情况下薄膜淀积时， 监控者对于透射率极值点的判定误差和被镀层的光学厚度误差之间的关系式，对规整膜系在 透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进行了电脑仿真。仿真结果与实验结果相吻。

关键词：薄膜淀积、极值监控法、膜层厚度误差、电 脑仿真

所属期刊栏目：12

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43