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10.3321/j.issn:1005-0086.2000.01.006

Si1-XGeX/Si红外光电探测器

引用
本文报导了用两种缓冲层生长技术研制的Si1-XGeX/Si异质结pin型红外探测器.其波长范围为0.70~1.55 μm,峰值波长为0.96~1.06 μm,暗电流密度低达0.03 μA/mm2(-2V),在1.30 μm处的响应度高达0.15 A/W(-5V);讨论了Ge组分、外延层厚度、偏置电压等对探测器参数的影响.

光电探测器、SiGe合金、响应度

11

TN362(半导体技术)

新材料领域项目863-307-96-0505;中国科学院资助项目69636010

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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光电子.激光

1005-0086

12-1182

11

2000,11(1)

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