偏振态脉冲激光辐射的微孔加工

摘要：

文中讨论了偏振态脉冲激光辐射微孔加工的一些实验.首次发现了偏振态激光打孔具有的独特优势-良好圆度、边缘光洁整体和较高的重复性;分析了其原因,同时对偏振态脉冲激光辐射影响微孔质量(孔形、孔深、锥度、入口孔径、出口孔径)的一些因素,如泵浦能量、光阑的选择及其大小,光学系统的焦距等也作了较为详细的研究和测试,得到了具有参考价值的结果.

关键词：激光打孔、偏振态、脉冲激光

所属期刊栏目：10

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：473-474