激光三角位移传感器光斑自检法研究

摘要：

本文根据激光三角位移传感器的结构特点,提出了利用传感器自身光路和光电探测器的激光三角位移传感器光斑自检法以探测传感器入射光斑的半径.利用此方法可探测半径50μm至5mm的入射光斑半径,测量分辨力为1μm.该方法具有装置简捷,调整方便的特点.实验表明该方法的可行性.

关键词：激光三角位移传感器、光斑自检、高斯光束

所属期刊栏目：10

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：242-244