GaAs 1×4光功分器的制作

摘要：

本文在GaAs/GaAlAs外延材料上设计和制作了MMI型1×4光功分器.文中首先给出器件的基本工作原理和特点,随后主要讨论器件制作中的GaAs材料的干法刻蚀工艺,最后给出器件测试结果.

关键词：集成光学、多模干涉、光功分器、干法刻蚀

所属期刊栏目：10

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：203-206