能量法表征硅基底上韧性薄膜的塑性性能

摘要：

用三维弹塑性大应变有限元方法分析了沉积在硅基底上各种不同金属薄膜材料的Berkovich压入响应.通过能量量纲化结合有限元方法建立了一种表征金属薄膜塑性性能的方法.基于本文建立的能量法推导出了硅基底上铝薄膜的塑性性能,并与单轴拉伸实验结果及文献中方法得出的结果进行了比较,发现由本文中模型得出的结果与单轴拉伸的结果更为吻合.用本文提出的能量法来表征金属薄膜的塑形性能是完全可行的.

关键词：有限元方法、金属薄膜、屈服强度、能量量纲化

所属期刊栏目：4

分类号：TB121(工程基础科学)

资助基金：湖南省衡阳市科技局项目KJ01;国家自然科学基金重点资助项目50531060;国家自然科学基金杰出青年资助项目10525211

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47