等离子体化学气相沉积的布气装置之设计

摘要：

推导了在设计真空镀膜设备时,计算镀膜室内布气管的直径和出气孔孔径的公式,di=[d-41-D-4L∑im=2(n+1-m)/(h+10-6Bq)]-1/4,以达到均匀布气的目的.给出了在等离子体化学气相沉积设备中的计算实例及应用情况,实践证明,用此公式设计真空镀膜均匀布气装置是可行的.

关键词：真空沉积、结构设计、流量分布、管道流动

所属期刊栏目：12

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25