氩气和氪气作为ECR中和器工质的性能比较

摘要：

为比较使用不同气体工质的电子回旋共振(ECR)中和器的性能,在真空环境下,用一个电子收集板模拟离子的作用,将电子电流从ECR中和器中引出,实验研究了以氩气和氪气为工质时,ECR中和器引出电子电流的大小以及中和器的性能.实验结果表明:以氩气为工质,ECR中和器在体积流量0.8 mL/min时,88.6V电压可引出103.8 mA的电子电流,工质利用效率和电子损耗分别为1.278 9 W/A和194.573W/A;以氪气为工质,ECR中和器在体积流量0.6 mL/min时,75V电压可引出108mA电子电流,工质利用效率和电子产生损耗分别为1.783 2W/A和176.7W/A.以氪气为工质的中和器性能明显优于氨气,但2种工质都可以满足ECR离子源中和离子束流的需要.

关键词：电子回旋共振等离子体、ECR中和器、电子束流、工质利用效率、电子损耗、氩气、氪气、引出电压

所属期刊栏目：41

分类号：O53;TQ1

资助基金：国家自然科学基金11475137.Project supported by National Natural Science Foundation of China 11475137

在线出版日期：2015-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2850-2855