大气压脉冲调制射频氦气放电特性的数值模拟

摘要：

采用脉冲调制可以有效优化大气压射频放电行为.为此利用1维流体模型,考虑了氦等离子体放电过程中主要的13个反应及6种粒子,研究了大气压脉冲调制射频氦气放电特性,并分析了调制频率、占空比对放电特性的影响以及输入电压对达到最大电子数密度所需时间的影响.结果表明:脉冲调制之后,固定调制频率时,随着占空比的减小,氦气放电的击穿电压增大;固定输入电压时,最大电子数密度所需时间与剩余电子数密度成反比.利用功率输入时间及最大电子数密度所需时间的关系,合理选择占空比及调制频率可以在满足实际应用的同时,最大地节约功率损耗;固定占空比及调制频率时存在着最优输入电压,使得最大电子数密度所需时间最短,合理选择输入电压也能使放电特性得到优化

关键词：脉冲调制、大气压射频放电、气体放电、等离子体、调制频率、占空比

所属期刊栏目：40

分类号：TN2;TN4

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2014AA052003.Project supported by National High-tech Research and Development Program of China 863 Program 2014AA052003

在线出版日期：2014-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：3105-3111