PDMS复制的微流控芯片微结构尺寸的简易测量方法研究

摘要：

@@ 微流控芯片上通道与结构尺寸是微流控系统研究与加工中的一个基础数据,由于其微米级的尺度及要求非破坏性等特点,常用的触针式轮廓仪由于其触针尺寸的限制,对高深宽比的微结构测量失真明显.而其它的测量方法如扫描电镜显微测试技术及光干涉技术等均难以满足需要或难以在普通的化学实验室中实现.

关键词：PDMS、微流控芯片、结构尺寸、测量方法

所属期刊栏目：25

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：41-42