10.3969/j.issn.1673-1255.2021.03.016
快反镜的镜座结构热分析研究
针对校正激光光束的快反镜使用过程中,残余光束辐照到镜座后导致镜座结构变形,对系统造成的不利影响,围绕镜座结构设计开展了针对性的研究.对镜座结构从选材到结构布局进行了详细分析,提出了采用铝材料镜座结构.对镜座中间光束最密集处采用镂空设计的方法,进一步提出了镜座采用SiC材料的设计方向.对设计后的铝材料镂空镜座结构进行了热分析计算,验证了设计方法的可行性,为类似快反镜镜座结构设计提供了新的设计思路.
快反镜、镜座、结构变形、热分析
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TN303(半导体技术)
2021-07-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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