水汽含量对石英晶体性能影响及抑制方法研究

摘要：

石英晶体是激光测距唯一的时间标尺,其稳定性直接影响着测距结果的准确性.石英晶体内部水汽含量对晶体性能有着很大的影响,分析了不同程度的内部水汽含量在不同温度下对晶体元器件的性能影响.研究表明,水汽含量越大,温度越接近极限,对石英晶体的影响越严重.提出了封装前在125℃±5℃的烘箱内烘烤0.5 h后取出,反复抽真空、充高纯氮气五个循环的方法,可以将水汽含量可控制在≤2000 ppm以下,达到了降低内部水汽含量的目的.

关键词：激光测距、石英晶体、内部水汽、高温烘焙

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.1(半导体技术)

在线出版日期：2019-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-26