热释电型激光能量计空间均匀性校准技术研究

摘要：

热释电探测器由于其灵敏度高、响应速度快、体积小、损伤阈值高等特点，作为激光能量计的传感器在激光能量检测方面使用广泛。由于制作工艺的限制，热释电型激光能量计的热敏面灵敏度系数存在空间非均匀性问题，导致当激光照射到探测器不同位置时，激光能量测量结果不准确。针对这一问题，设计一种热释电型激光能量计空间均匀性校准方法，通过对热释电探头光路的控制，消除空间均匀性对测量结果的影响，并通过实例验证了方法的可行性。

关键词：激光、能量计、校准

所属期刊栏目：31

分类号：TN244(光电子技术、激光技术)

资助基金：总装备部通用装备保障部项目

在线出版日期：2016-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：71-74