大功率激光光路环境控制装置设计

摘要：

光路内环境的洁净度、温度、相对湿度对大功率激光的传输、发射会产生重要影响，采用充入非吸收气体的方法不适用于腔体壁厚较薄、含有窗口和旋转关节的结构，针对光路结构特点，设计了激光光路环境控制装置，采用充气控制器采集压差、温差、相对湿度及洁净度参数，自动控制电控球阀与排气电磁阀的启闭，通过自动充排气充入高纯氮气、液氮，排出原有气体，并保持压差在合理范围内，实现了对光路内环境的洁净度、相对湿度和温度的控制，保证了高能激光光束的传输质量。

关键词：激光光路、环境控制、洁净度

所属期刊栏目：31

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：56-59