紫外激光双波段高反射镜的研制

摘要：

通过非线性光学频率变换的方式,1 064 nm YAG激光可获得355 nm、266 nm波长的激光.在此系统中工作的反射镜必须同时满足两个波段的高反射.根据薄膜设计理论选择合适的镀膜材料,采用电子束离子辅助沉积工艺,经过参数优化和反复试验,在石英基片上制备了355 nm反射率为97.9％,266 nm反射率为96.8％的双波段反射镜,且在紫外波段355 nm的激光损伤阈值为1.76 J/cm2,266 nm为1.12 J/cm2.测试结果表明,此反射镜的各项性能满足使用要求.

关键词：紫外高反射镜、激光损伤阈值(LIDT)、离子辅助沉积(IAD)、薄膜

所属期刊栏目：29

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2014-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,16