用双氧水方法提高单晶硅片制绒效果的研究

摘要：

介绍了在制绒前使用双氧水+低浓度碱液+超声的预清洗工艺的新方法.与常规的预清洗工艺相比,新的预清洗工艺避免了生产过程中的漂篮现象,改善了硅片表面的清洁质量,降低了表面微粗糙度.通过扫描电子显微镜(SEM)观察,使用双氧水预清洗后的制绒绒面金字塔尺寸小而均匀,反射率也有所降低.新预清洗工艺制绒后的硅片增加了对入射光的吸收,有利于提高电池短路电流,对提升电池光电转换效率有重要意义

关键词：双氧水、单晶硅片、制绒

分类号：TM914.4

在线出版日期：2012-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41