双光栅干涉位移传感器原理及其误差分析

摘要：

双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点.文中详细阐述了传感器的测量原理,并对此理论原理进行ZE?MAX软件仿真.与此同时,基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布.结果表明,激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹,且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期.最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素,以及这些因素对测量结果的影响,文中给出了部分因素的误差表达式

关键词：双光栅干涉、位移测量、 ZEMAX仿真、误差分析

分类号：TP212.14(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45