10.3969/j.issn.1673-1255.2011.06.016
不同针孔直径下衍射波面的标量和矢量分析
针孔作为点衍射干涉仪中的关键元件,针孔的制作精度将会严重影响干涉仪的检测精度。对于大多数衍射问题,标量衍射理论是一种比较好的近似,但是当衍射孔径较小时,矢量衍射理论更能说明衍射波面的实际情况。针对可见光入射针孔时,分别从标量和矢量衍射理论出发,分析针孔尺寸对衍射波质量的影响,并计算衍射波面的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值。结果表明,标量衍射理论下,当孔径为400 nm时,衍射波面误差RMS最小,且随着材料厚度的变化误差变化不大。矢量衍射理论下,孔径为200 nm时,衍射波面误差RMS最小,且材料厚度的不同,衍射误差变化较大。
物理光学、光学检测、针孔衍射、FDTD
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O436(光学)
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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