10.3969/j.issn.1673-1255.2010.05.001
转台内部光路测试系统设计
介绍了转台的组成和功能.利用一束平行光通过离轴抛物镜时汇聚在焦点处的工作原理设计了一套测试系统,用来调整转台内部光路瞄准精度.使用测试设备观察指示光光斑位移量,调整几片反射镜位置使其达到瞄准精度要求.为了减小测试系统的测量误差,对离轴抛物镜焦面的离焦量做了严格的控制,并对测试系统中可能带来的误差进行了分析.
测试系统、离轴抛物镜、误差分析
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TN491(微电子学、集成电路(IC))
国家部委基金
2011-02-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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