光学法表面形貌测量技术

摘要：

随着纳米科技和信息技术的不断发展,表面形貌测量技术也在向着精度更高,速度更快,稳定性更好的方向发展.传统的接触式方法已经不能满足某些特定场合的测量需要,因此非接触光学方法的表面形貌测量技术已成为研究的热点.主要针对国内外表面形貌测量的光学法进行研究和讨论,并预测了未来发展的方向.

关键词：光学测量、表面形貌、非接触

所属期刊栏目：23

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：33-40