超高压气体放电光源玻壳材料退火工艺研究

摘要：

通过分析石英材料粘度与温度的关系,得出了石英的退火温度范围.结合超高压气体放电光源的要求,对玻壳精密退火工艺进行研究.该工艺充分考虑了因玻壳厚度和降温造成的应力.给出了工艺参数的计算方法,增加了慢速降温阶段,减少了玻壳的剩余应力.

关键词：应力、粘度、退火温度、退火时间

所属期刊栏目：21

分类号：TN13(真空电子技术)

在线出版日期：2006-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：79-81