基于虚拟仪器的光栅尺误差动态检测

摘要：

给出了一种基于虚拟仪器的光栅尺误差动态检测方法.以激光外差干涉仪为基准,利用虚拟仪器的软硬件技术实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析、列表输出等多项功能的光栅尺高精度检测.与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快、测量结果直观清晰等优点,特别适用于光栅尺的在线检测.

关键词：虚拟仪器、光栅尺、动态检测、数据分析与处理

所属期刊栏目：20

分类号：TH741.6;TP274+.2(仪器、仪表)

资助基金：广东省深圳市科技局科研项目9807

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37