CCD制造的关键工艺

摘要：

CCD(电荷藕合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器.介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述.

关键词：CCD、氧化、光刻、离子注入

所属期刊栏目：20

分类号：TN05+.4(一般性问题)

在线出版日期：2005-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42