一种光电器件几何参数测试方法

摘要：

简单介绍了光电器件几何参数,找到了一种测试工具-万能工具显微镜,探讨了用新工具测试几何参数的方法,有效解决了深度测量的难题.

关键词：光电器件、万能工具显微镜

分类号：TN606(电子元件、组件)

在线出版日期：2005-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34