废显影液中四甲基氢氧化铵的回收

摘要：

本文主要研究了高分子废显影液中四甲基氢氧化铵(TMAH)的回收工艺,在不同温度、压力、浓度条件下,研究了废显影液经过纳滤后的COD含量以及TMAH回收率,结果表明:COD含量主要受温度影响较大,TMAH回收率主要受初始浓度影响较大.根据废液的实际条件,综合考虑提出纳滤法回收TMAH较优的条件为室温,1.5 MPa;在此条件下,处理后的废显影液COD含量可以控制在40 ppm以下,TMAH回收率能够达到85％以上.

关键词：纳滤、四甲基氢氧化铵、循环回用、显影液、高分子

所属期刊栏目：50

分类号：TQ(化学工业)

资助基金：新型半导体显示AMOLED湿制程智能化柔性生产线研发;产业化项目

在线出版日期：2023-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：148-150