乙酰丙酮基1,2-双(二苯基膦)乙烷镍的合成、热性质及其作为化学气相沉积前驱体的应用研究

摘要：

本文以乙酰丙酮镍和1,2-双(二苯基膦)乙烷为原料合成了乙酰丙酮基1,2-双(二苯基膦)乙烷镍配合物,通过元素分析、熔点以及热重分析仪对所合成配合物的化学成分、挥发性、热稳定性以及运输行为进行了测定分析.此外,以该化合物为前驱体,通过薄膜沉积实验对其作为CVD前驱体的应用性进行了评价,并对所沉积薄膜的形貌、化学组成及晶型结构进行了研究.研究结果表明所制备的薄膜成分为NiO,成膜连续均匀,具有较高的纯度,说明其具有作为CVD前驱体应用于制备镍基薄膜的可行性.

关键词：合成、热性质、化学气相沉积、前驱体、镍基薄膜

所属期刊栏目：50

分类号：TQ(化学工业)

资助基金：大学生创新创业训练计划项目;河南省高等学校重点科研项目;河南省大学生创新创业训练计划项目

在线出版日期：2023-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：7-9