10.3969/j.issn.1007-1865.2021.14.012
正交化制备ZnTe靶材试验研究
以5N超细ZnTe粉体为原料,采用真空热压法对ZnTe靶材进行制备.以烧结压力、保温时间及烧结温度为实验因子,设计了 L,(34)正交化实验.研究表明,靶材的致密度随保温时间的增加而增加,但超过一定时间后,会出现反致密化现象;烧结温度具有一定的影响;而烧结压力对其影响较小.最终分析得出ZnTe靶材制备的最佳工艺在烧结压力为58 MPa、保温时间60 min、烧结温度820℃的真空热压条件下,ZnTe靶材的致密度可达99.5%.
ZnTe靶材;真空热压;正交实验;薄膜太阳能电池材料
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TQ(化学工业)
本论文受国家稀散金属工程技术研究中心、广东省薄膜材料工程技术研究中心,清远市薄膜材料工程技术研究中心基金支持
2021-09-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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27,51