Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展

摘要：

CrN涂层具有良好的力学性能被广泛研究和使用,但热硬性、抗氧化性差成为限制其进一步应用的主要缺点.为了解决这些问题,人们研究了多种三元涂层.其中,AlCrN涂层具有高硬度、良好的摩擦磨损性能和优异的抗氧化性,是一种很有前途的氮化物保护涂层.揭示A1含量对AlCrN的影响规律对进一步改善AlCrN涂层性能具有重要意义.本文总结了Al含量对磁控溅射AlCrN涂层力学性能、摩擦磨损性能和高温稳定性的影响规律,并探讨了其机理.发现在AlCrN达到最佳综合性能时对应的Al含量有所差异,这可能是由于不同制备方法的离化率不同所致.

关键词：AlCrN、涂层、Al含量、磁控溅射、性能

所属期刊栏目：47

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金面上项目51775524

在线出版日期：2020-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80