10.3969/j.issn.1007-1865.2020.14.033
光刻胶及其成膜树脂的研究现状
光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况.
光刻技术、光刻胶、成膜树脂
47
TQ(化学工业)
广东省科学院企业工作站建设专项项目
2020-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
76-77
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10.3969/j.issn.1007-1865.2020.14.033
光刻技术、光刻胶、成膜树脂
47
TQ(化学工业)
广东省科学院企业工作站建设专项项目
2020-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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