Zeiss Gemini 500场发射扫描电镜的日常维护与管理

摘要：

以Zeiss Gemini 500场发射扫描电镜为例,详细介绍了在环境条件、电子光学系统、真空系统、附件设施等方面的维护保养方法,总续了日常管理方面的经验以及使用过程中的安全注意事项,强调了精心细致的维护和严格规范的管理是保证扫描电镜高效运转、提高使用率和完好率的重要手段.

关键词：Zeiss Gemini 500、场发射扫描电镜、日常维护管理

所属期刊栏目：47

分类号：TN16;TG115.21+5.3(真空电子技术)

资助基金：广东省基础与应用基础研究基金2019A1515011631

在线出版日期：2020-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：151-152