便携式超景深3D显微镜的研究与开发

摘要：

为实现现场无损细微缺陷实时Z向测量,进行了一种便携式超景深3D金相显微镜研发.详细阐述了设备的结构设计及理论,并通过测试证明了设备的性能可靠性.本研究为无损观察细微缺陷表观情况、确定缺陷等级以及测量缺陷3D尺寸实现定量分析提供了可靠的依据.

关键词：便携式、3D显微镜、定量分析

所属期刊栏目：47

分类号：TQ(化学工业)

资助基金：广东省质监局科技项目"3D金相显微镜开发"编号2018ZT03

在线出版日期：2020-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-35,37