三氟化氮气体的制备及纯化方法综述

摘要：

三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中.本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵(NH4)3AlF6和F2为原料合成NF3,电解法生产NF3主要是电解熔融的NH4HF2.四氟化碳是工业制备三氟化氮的主要杂质,也是最难除去的杂质,提纯方法主要有精馏法,冷阱法及吸附法.

关键词：三氟化氮、制备方法、检测方法、气体传感器、NDIR

所属期刊栏目：46

分类号：O61(无机化学)

资助基金：广东省省级科技计划项目,项目号:2016A040403072;广东省质量技术监督局科技计划项目,项目号:2017PZ02

在线出版日期：2019-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：112-113