直流磁控溅射沉积N-Ti-TiN镀膜耐蚀性能

摘要：

通过固定N层和TiN层的沉积时间,改变Ti层沉积时间,在AZ31镁合金表面采用直流磁控溅射技术制备N-Ti-TiN镀膜,研究镀钛时间对N-Ti-TiN镀膜的形貌、腐蚀性能的影响.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪等手段分析镀膜的表面形貌和成分,通过动电位极化试验,研究镀膜的耐蚀性.结果表明:改变不同镀钛时间获得的N-Ti-TiN镀膜的厚度在1～1.4 μm之间,镀膜分布均匀,随着镀钛膜沉积时间的增加镀膜的厚度增加,膜间结合性好;与镁合金基体相比,不同镀钛时间的N-Ti-TiN镀膜均能提高材料的耐蚀性,镀钛时间为20 min的N-Ti-TiN镀膜的耐蚀性更为优异.

关键词：直流磁控溅射、N-Ti-TiN镀膜、腐蚀性能

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分类号：TB383.2(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金项目31370979;黑龙江省高校生物医学材料重点实验室2012年度开放课题YX12002;佳木斯大学科学技术面上项目L2013-073;佳木斯大学大学生科技创新项目XSlz2016-06

在线出版日期：2016-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-12,21