二氧化钒薄膜制备方法研究进展

摘要：

VO2是一种受人关注的功能材料,在68℃附近发生从高温金属相到低温半导体相的突变,且相变可逆.由于相变前后其电、磁、光性能有较大的变化,使得它在智能玻璃、存储介质和非制冷红外成像等方面有着广泛的应用.由于制备高纯度VO2薄膜较为困难,因此人们对VO2薄膜的制备进行了大量的研究工作.文章综述了VO2薄膜的各种物理制备方法与化学制备方法以及他们的最新研究进展,根据对不同制备方法优缺点的分析及探讨,对二氧化钒薄膜制备方法的研究方向进行了展望.

关键词：VO2、薄膜制备、退火、相交

所属期刊栏目：43

分类号：TQ(化学工业)

资助基金：国家大学生创新创业训练计划项目,项目201610220035

在线出版日期：2016-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：104,111