带有滤光光阑的微透镜阵列制备方法

摘要：

文章提出了一种采用湿法刻蚀制备含滤光光阑的三明治结构微透镜阵列(MLA)的方法.该方法制备的微透镜阵列透镜一致性好,其上的滤光层能够有效遮挡杂光,极大改善了激光直写光刻系统(LDI)的曝光效果,并且该方法具有制备设备简单、制备成本低、适合大批量制备的特点.

关键词：微透镜阵列、湿法刻蚀、滤光光阑

所属期刊栏目：42

分类号：TQ(化学工业)

资助基金：广东省引进创新科研团队项目2011G054

在线出版日期：2015-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-48,24