多功能Parylene膜化学气相沉积系统设计

摘要：

分析了一般真空化学气相沉积制备Parylene膜系统的原理、组成和局限性.在通用系统的基础上,设计了一种能满足多种需求,具备多种功能的Parylene膜真空气相沉积系统.该系统能直接控制原料进入裂解炉的速率,控制基体的温度,配置的高真空单元可以对基体进行除气处理,差分四极质谱单元可以实时分析成膜过程中气体成分变化,采用O'hanlon方法可以计算气体的抽速.

关键词：Parylene、真空化学气相沉积、多功能

所属期刊栏目：41

分类号：TH(机械、仪表工业)

在线出版日期：2014-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：137-138