多晶硅生产过程的质量控制

摘要：

文章结合改良西门子法多晶硅生产实际,系统分析了多晶硅生产过程中各工序对多晶硅产品质量影响,并针对不同工序特点提出产品质量控制要素.分析探讨多晶硅产品质量影响与控制,对降低生产成本,提高产品竞争力,具有重要意义.

关键词：改良西门子法、多晶硅、质量控制

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2013-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：87-88