半导体行业超纯水处理系统优化设计

摘要：

文章初步介绍了超纯水基本概念、用途和主要性能指标,详细阐述了超纯水处理系统的典型工艺流程、单元模块的主要功用、常用仪器设备等.同时,根据实际项目经验,对超纯水处理系统设计在水质性能指标、工艺流程、设备和运行成本等方面提出了优化措施.

关键词：半导体、超纯水处理、优化设计

所属期刊栏目：38

分类号：TP(自动化技术、计算机技术)

资助基金：人工智能四川省重点实验室基金项目2009RY004

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：197-198