酸性蚀刻液中的氯离子含量测定方法

摘要：

加入氢氧化钠溶液沉积去除酸性废蚀刻液中的铜离子,采用硝酸调节pH,加入铬酸钾指示剂,并用硝酸银滴定,测定酸性蚀刻液中的氯离子含量.具有终点易于观察,操作简单等优点,实用性强,可进行工业应用.

关键词：氯离子、酸性蚀刻液、银量法

所属期刊栏目：37

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2011-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：150-150,152