氧化铝膜的制备

摘要：

制备氧化铝膜的具体过程包括:预处理(清洗→退火→除去自然氧化铝膜→电化学抛光)、阳极氧化(稳流氧化→除膜→稳压氧化)和后续处理(稀磷酸扩孔).通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线电子衍射(XRD)、精密pH计和TT-230涡流测厚仪,对其进行了表征.研究了电解液浓度,氧化温度、电压、时间和扩孔时间对膜形成的影响.确定了新的氧化工艺,拓展了氧化温度的范围(15.0～40.0 ℃).制备出了具有高度有序的氧化铝模板.

关键词：纳米结构、阳极氧化铝、模板

所属期刊栏目：34

分类号：TQ13

资助基金：国家自然科学基金10372087;湖南省科技厅科技计划03JZY1002

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-16